在半导体制造领域,掩膜版(Reticle)作为芯片制造的“母版”,其质量直接关系到芯片的良率与可靠性。掩膜版上微小颗粒(Particle)与图形缺陷的精准检测,一直是掩膜版制造全流程质量管控的核心痛点,也是保障半导体产业链自主可控的关键环节。一旦存在细微缺陷,就可能在后续晶圆制造中被大规模复制,造成巨大的成本损耗与产能浪费。
面对这一产业难题,珠海诚锋科技研发团队经过多年潜心自主研发,与产业企业深度链接,成功突破技术壁垒,推出具有完全自主知识产权的掩膜版缺陷检测设备,成功跻身为国内掩膜版缺陷检测设备第一梯队供应商,成为掩膜版质量管控的“全能之眼”。
立足这一产业需求,诚锋科技依托多年在纳米图形检测领域的深耕细作与技术积淀,整合自身全栈掌握的核心图形检测算法与高精密光学系统研发优势,成功推出Reticle缺陷检测设备,实现自研软件算法与高精密光学系统的深度融合。
该设备专为掩膜版制造核心环节量身打造,可精准识别掩膜版生产过程中的各类微小颗粒与图形缺陷,适配MaskShop严苛的生产环境与超高洁净度要求,既能满足检测稳定性需求,也能为掩膜版制造全流程质控提供全面、可靠的缺陷解决方案,助力产业链伙伴提升产品良率、降低生产成本,填补国产掩膜版检测设备在相关领域的技术适配空白。
作为国家级高新技术企业,诚锋科技始终以技术创新为引擎,以客户需求为导向,累计斩获50余项国家专利,攻克纳米级晶圆及掩膜版图形检测技术壁垒,成功打破国外技术封锁与市场垄断。